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超聲諧振驅動原理的直線與360°旋轉壓電馬達！

更新時間： 2024-06-17
利用超聲諧振驅動原理的壓電馬達，其基本工作原理就是利用壓電材料的逆壓電效應，使其能產生超聲波頻率的機械振動，再通過摩擦驅動的結構設計，從而驅動移動臺做旋轉運動或直線運動。
超聲是一種超出人聽覺范圍外的高頻振動，因此超聲壓電馬達具有噪聲小的特點。此外，它還具有結構小，響應速度快，可斷電自鎖等優點。在精密加工測量儀器、半導體加工設備、醫療、航空航天等高技術領域應用前景廣闊。

 

超聲諧振驅動原理的直線與360°旋轉壓電馬達！

不同壓電馬達的運動原理

 

 

芯明天超聲諧振驅動壓電馬達超聲諧振驅動原理的直線與360°旋轉壓電馬達！

01 N59系列直線壓電馬達

產品外觀

超聲諧振驅動原理的直線與360°旋轉壓電馬達！

產品特點

• 一維X向運動                
• 速度達25mm/s
• 分辨率達50nm
• 斷電自鎖 

產品應用

• 光學儀器領域
• 精密儀器領域
• 醫療器械
• 微劑量注射器
• 小負載、大行程納米定位
• 科學研究
• 光纖對接
• 微細加工
• 原子力顯微鏡
• 半導體的精密定位和微納操作等

技術參數

型號
N59.9K
運動自由度
X
標稱行程范圍
9 或 ±4.5mm
速度上限
25mm/s
分辨率
50nm
負載能力
0.2kg
工作溫度
0~50℃
質量
4g
材質
鋁，不銹鋼
電纜長度
0.1m

 


02 N69系列旋轉壓電馬達

產品外觀

超聲諧振驅動原理的直線與360°旋轉壓電馬達！

產品特點
• 360°雙向旋轉運動
• 速度可達220rpm
• 斷電自鎖
• 真空版本可選

產品應用

• 光學儀器領域
• 精密儀器領域
• 醫療器械
• 微劑量注射器
• 半導體技術
• 圖像處理
• 納米計量
• 光學儀器設備制造
• 干涉儀等

技術參數

型號
N69.K2
運動自由度
360°雙向
最大速度
220rpm
分辨率
30μrad
扭矩
1mN·m
軸向負載力
0.2kg
工作溫度
0~50℃
質量
3.5g
材質
鋼、鋁
電纜長度
0.1m

 


配套控制器

E66.A2K-H1板卡式壓電控制器可控制N69系列和N59系列超聲壓電馬達，單通道開環驅動，尺寸為38mm×27mm×12mm，可外部輸入PWM信號控制，操作更便捷，小體積設計更易集成。

超聲諧振驅動原理的直線與360°旋轉壓電馬達！

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