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壓電直線納米運(yùn)動(dòng)與二維偏轉(zhuǎn)鏡架相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)鏡片二維偏轉(zhuǎn)及快速光學(xué)移相!

更新時(shí)間: 2024-06-05
光學(xué)移相器是一種用于控制光相位的光學(xué)器件,用于實(shí)現(xiàn)光信號的相位移動(dòng),在干涉測量技術(shù)領(lǐng)域中廣泛的應(yīng)用。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,干涉測量技術(shù)對于大行程、高精度、高靈敏度的要求越來越高,移相器作為干涉測量技術(shù)的重要部件,也要隨之進(jìn)步。
芯明天宏微復(fù)合式壓電移相器是將直線壓電促動(dòng)器與二維手調(diào)鏡架相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)鏡片θx、θy二維偏轉(zhuǎn),且壓電促動(dòng)器具有高精度、快速響應(yīng)等優(yōu)勢,可通過電壓控制進(jìn)行超快速(μs級)步進(jìn)調(diào)節(jié),二者合一既可以滿足大角度調(diào)節(jié)范圍又可以進(jìn)行快速光學(xué)移相,且體積小,更便于操作。

ZT35H80K系列壓電陶瓷移相器

ZT35H80K系列壓電陶瓷移相器的內(nèi)部是由壓電陶瓷管驅(qū)動(dòng),它由直流電壓信號控制,在150V電壓下產(chǎn)生的位移約0.7μm,在上限驅(qū)動(dòng)電壓800V下,產(chǎn)生的位移約3.73μm,手動(dòng)調(diào)節(jié)鏡架偏轉(zhuǎn)角度范圍可達(dá)±4°??蓭лdφ35mm鏡片,也可定制尺寸。

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T30Z1K壓電陶瓷移相器

T30Z1K壓電陶瓷移相器的內(nèi)部是由壓電陶瓷管驅(qū)動(dòng),在150V直流電壓驅(qū)動(dòng)下可產(chǎn)生約0.65µm位移,可通過手動(dòng)調(diào)節(jié)θx、θy兩軸的偏轉(zhuǎn)角度,角度調(diào)節(jié)范圍可達(dá)±3°。將鏡片調(diào)節(jié)與像移步進(jìn)相結(jié)合,體積更小巧緊湊,使其更方便于像移、干涉測量等應(yīng)用。

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ZT50M14系列壓電移相促動(dòng)器

ZT50M14系列壓電促動(dòng)器是專為光學(xué)籠式結(jié)構(gòu)應(yīng)用而設(shè)計(jì),可直接安裝于籠式結(jié)構(gòu)中。它是將壓電促動(dòng)器集成到一個(gè)手調(diào)鏡架中,先通過二維鏡架對鏡片的朝向進(jìn)行手動(dòng)調(diào)節(jié),可調(diào)節(jié)范圍±3°,再通過壓電促動(dòng)器進(jìn)行納米精度直線運(yùn)動(dòng)。該壓電促動(dòng)器具有多種型號,可在多種位移間進(jìn)行選擇,最高可達(dá)114μm,可選配閉環(huán)傳感器。

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芯明天可提供各種用于移相、步進(jìn)、干涉、計(jì)量等應(yīng)用的壓電式移相器,例如小體積型、帶有通光孔型、大負(fù)載型、大口徑型,可根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用定制設(shè)計(jì)。

配套控制器

E53.D系列單通道壓電控制器適用于驅(qū)動(dòng)芯明天壓電移相器,供電為24VDC/1.5A,帶寬10kHz,可采用模擬或數(shù)字控制,開閉環(huán)可選。針對小體積應(yīng)用開發(fā),結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成。

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