N12壓電掃描臺(tái)為1~3維并聯(lián)式平移掃描臺(tái)，臺(tái)體中心方形通孔，內(nèi)部采用無(wú)摩擦的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu) 化結(jié)構(gòu)，具有超高的導(dǎo)向精度、高剛性、大負(fù)載、無(wú)磨損等特點(diǎn)，平臺(tái)內(nèi)可選擇配置高性能傳感器進(jìn)行全閉環(huán)反饋，實(shí)現(xiàn)滿(mǎn)行程0.04%的 重復(fù)定位精度。 N12壓電掃描臺(tái)典型應(yīng)用 掃描顯微 • 共焦顯微 • 晶圓定位 • 表面測(cè)量 • 圖像處理與穩(wěn)定 • 半導(dǎo)體測(cè)試 N12壓電掃描臺(tái)特性 • zui大位移110μm • zui大承載0.7kg • 臺(tái)體中心方形通孔 • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 開(kāi)環(huán)閉環(huán)可選 1~3維掃描臺(tái) N12系列壓電掃描臺(tái)包含X、Z、XY、XZ、XYZ五種規(guī)格型號(hào)。 閉環(huán)傳感定位精度高 N12系列壓電掃描臺(tái)配置高分辨率傳感器，對(duì)位置實(shí)時(shí)檢測(cè) 并反饋到壓電控制器，控制器通過(guò)PID算法調(diào)整電壓修正位移，從 而實(shí)現(xiàn)高精度定位。 N12.XYZ壓電掃描臺(tái)配套芯明天E72系列模塊化控制器應(yīng)用 于光學(xué)顯微成像，實(shí)現(xiàn)XYZ軸精密掃描。 小體積、大位移、中心通孔 N12系列納米定位臺(tái)體積非常小巧，位移可達(dá)110μm。 *的平行運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)原理，使得平臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)XYZ軸高速 精密運(yùn)動(dòng)。這款產(chǎn)品的應(yīng)用非常廣泛，從光學(xué)研究到工業(yè)化 OEM系統(tǒng)等。 該系列壓電掃描臺(tái)的通光孔為45×45mm。高剛度以及 優(yōu)異的直線(xiàn)性使其成為光學(xué)、激光領(lǐng)域納米級(jí)精密定位應(yīng)用。 N12壓電掃描臺(tái)技術(shù)參數(shù)： 型號(hào) | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán) | N12.X100S N12.X100K | N12.Z100S N12.Z100K | N12.XY100S N12.XY100K | N12.XZ100S N12.XZ100K | N12.XYZ100S N12.XYZ100K | 單位 | 運(yùn)動(dòng)自由度 | X | Z | X、Y | X、Z | X、Y、Z | | 標(biāo)稱(chēng)行程范圍（0~120V） | 80 | 80 | 80/軸 | 80/軸 | 80/軸 | μm±20% | zui大行程范圍（-20~150V） | 110 | 110 | 110/軸 | 110/軸 | 110/軸 | μm±20% | 傳感器類(lèi)型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | | 通孔尺寸 | 45×45 | 45×45 | 45×45 | 45×45 | 45×45 | mm | 閉/開(kāi)環(huán)分辨率 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | nm | 閉環(huán)線(xiàn)性度 | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | 0.1/- | 0.15/- | %F.S. | 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.04/- | 0.04/- | 0.05/- | 0.05/- | 0.1/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動(dòng) | <10 | <10 | <15 | <15 | <20 | µrad | 推/拉力 | 30/10 | 30/10 | 25/8 | 25/8 | 20/4 | N | 運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 0.3 | 0.3 | X0.25/Y0.3 | X0.3/Z0.25 | X0.3/Y0.25/Z0.2 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 230 | 200 | X170/Y200 | X200/Z150 | X200/Y150/Z120 | Hz±20% | 閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 10/0.8 | 10/0.8 | 15/0.8 | 15/0.8 | 30/0.8 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 60 | 65 | 55 | 50 | 30 | Hz±20% | 行程 | 8 | 8 | 7 | 6 | 4 | zui大承載 | 0.7 | 0.7 | 0.7 | 0.7 | 0.5 | kg | 靜電容量 | 1.8 | 1.8 | 1.8/軸 | 1.8/軸 | 1.8/軸 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | | 重量 | 240 | 240 | 290 | 290 | 350 | g±5% |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測(cè)得。 |
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