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芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺 N12壓電掃描臺為1~3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心方形通孔，內(nèi)部采用無摩擦的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu) 化結(jié)構(gòu)，具有超高的導(dǎo)向精度、高剛性、大負(fù)載、無磨損等特點(diǎn)，平臺內(nèi)可選擇配置高性能傳感器進(jìn)行全閉環(huán)反饋，實現(xiàn)滿行程0.04%的 重復(fù)定位精度。《查看更多》

芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺 P12壓電掃描臺為壓電陶瓷驅(qū)動、1~3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心圓形通孔孔徑可選25mm或35mm，滿足顯微等應(yīng)用。壓 電掃描臺可以實現(xiàn)單軸320μm的位移行程，一體式結(jié)構(gòu)使得多維運(yùn)動無耦合、多種規(guī)格型號可選，以滿足不同應(yīng)用的需求。《查看更多》

芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺 P-18壓電掃描臺為1-3維直線掃描臺。臺體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，可以實現(xiàn)X、XY、XYZ大370μm 的高速掃描，大通光孔徑為Ø35mm，多種位移行程及規(guī)格型號可供選擇，適用于大行程多維掃描等應(yīng)用。《查看更多》

芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺 XP-780系列壓電掃描臺采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理，柔性鉸鏈連接支撐傳動，內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動，實現(xiàn)X軸大220μm的 位移，可以配置閉環(huán)傳感實現(xiàn)高精度掃描與定位。壓電平臺具有25mm×25mm的通孔，適用于光學(xué)掃描。平臺可以通過疊加轉(zhuǎn)接的方式 實現(xiàn)二維、三維運(yùn)動。《查看更多》

直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺 N63壓電掃描臺為二維XY軸掃描平臺，一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計原理，壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)，可實現(xiàn)8μm的掃描范圍，臺體高度僅為17mm，閉環(huán)版本具有超高的定位精度，適用于顯微掃描等應(yīng)用。《查看更多》

芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電位移臺 P79系列Z向樣品升降壓電掃描臺為一維Z軸微動平臺，它的移動范圍可達(dá)210µm，定位分辨率可達(dá)3nm。$n$nP79平臺可對樣品進(jìn)行Z軸快速精密的聚焦調(diào)節(jié)，階躍時間達(dá)毫秒量級。主要用于配套宏動XY軸運(yùn)動掃描平臺或壓電馬達(dá)平臺使用，在宏動平臺進(jìn)行樣品位置的粗調(diào)后，再通過P79壓電掃描臺進(jìn)行樣品位置的精確調(diào)整，定位精度達(dá)納米量級。《查看更多》

N65XY芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺，一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計原理，壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)，可實現(xiàn)8μm的掃描范圍，臺體高度僅為17mm，閉環(huán)版本具有超高的定位精度，適用于顯微掃描等應(yīng)用。《查看更多》

N62芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電納米定位臺，機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理，中心通孔孔徑為26mm，可以實現(xiàn)XY軸±11μm的位移行程，產(chǎn)品體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成與安裝。非常適易于嵌入其他設(shè)備中，用于精密定位與微掃臺。《查看更多》